2017年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 本發(fā)明公開了一種改進拋光件吸附方式的拋光機，包括機架、吸附上盤、吸附下盤、上盤驅(qū)動系統(tǒng)、下盤驅(qū)動系統(tǒng)和抽真空系統(tǒng)，上/下盤驅(qū)動系統(tǒng)包括一中心軸，中心軸的底部與吸附上/下盤相連接，中心軸內(nèi)開設(shè)有封閉式連接氣路，中心軸靠近底部位置設(shè)有一旋轉(zhuǎn)氣路接頭，旋轉(zhuǎn)氣路接頭連通至封閉式連接氣路，旋轉(zhuǎn)氣路接頭外氣路接口，吸附上/下盤開設(shè)有氣路通孔，各氣路接口通過連接氣管與吸附上/下盤上開設(shè)的氣路通孔連通；吸附上...
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