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    超高真空計是指能夠準(zhǔn)確測量10-7Pa以下真空度的精密測量儀器，在高能物理、核聚變、材料、光學(xué)、量子物理等高新技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。長期以來，超高真空計的高端市場被歐洲、日本和美國等發(fā)達(dá)國家所壟斷，致使目前國內(nèi)此類型的真空計完全依賴進(jìn)口。近年來51O所投入大量人力物力，攻克了真空測量過程中微弱信號檢測、ESD效應(yīng)限制、材料熱出氣等關(guān)鍵技術(shù)，成功開發(fā)了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的LIP-UHVG1029型寬量程高精度熱陰極超高真空計產(chǎn)品。
本產(chǎn)品硬件部分采用獨特的工藝與制造技術(shù)，消除了電離規(guī)在長期運行狀態(tài)下的應(yīng)力變化，減小了測量誤差；在電控部分采用最新的真空電離技術(shù)使真空測量下限達(dá)到了2×10-9Pa，對氮氣靈敏度達(dá)到了0.18Pa-1，最終實現(xiàn)了低真空、高真空、超高真空范圍的真空度精確測量，其主要性能指標(biāo)達(dá)到甚至超過了國際先進(jìn)水平，填補了國內(nèi)外同類產(chǎn)品的市場空白。

    本產(chǎn)品基于具有自主知識產(chǎn)權(quán)（專利技術(shù)：一種真空計收集極離子流檢測電路，極高真空測量中離子流檢測電路以及一種真空電極封接結(jié)構(gòu)）的精確測量技術(shù)，使離子流的分辨率達(dá)到了10fA，實現(xiàn)了低真空、高真空、超高真空范圍的精確測量，對氮氣靈敏度達(dá)到了0.18Pa-1；其次通過規(guī)管的工藝處理，攻克了真空測量ESD效應(yīng)限制、材料熱出氣等影響超高真空性能關(guān)鍵技術(shù)，其主要性能指標(biāo)達(dá)到甚至超過了國際先進(jìn)水平。

    本產(chǎn)品技術(shù)源于真空低溫技術(shù)與物理國家重點實驗室及國防科技工業(yè)真空一級站長期以來在真空計量、測量分析等方面的技術(shù)優(yōu)勢，特別在fA級別下的離子流穩(wěn)定采集以及電離規(guī)電離特性具有深厚的研究基礎(chǔ)，在國內(nèi)外核心期刊、重要會議上發(fā)表的相關(guān)理論基礎(chǔ)和實踐應(yīng)用在電子真空行業(yè)產(chǎn)生了深遠(yuǎn)的影響，在國內(nèi)行業(yè)領(lǐng)域具有絕對的話語權(quán)。

    本產(chǎn)品通過標(biāo)準(zhǔn)化的生產(chǎn)條件建設(shè)、固化生產(chǎn)工藝來進(jìn)一步的壓縮制造成本，提高產(chǎn)品的一致性和可重復(fù)性，從而提高產(chǎn)品的整體性能、生產(chǎn)能力以及核心競爭力。

    后期可通過技術(shù)優(yōu)化，擴(kuò)展產(chǎn)品功能，進(jìn)一步形成全系列真空測量產(chǎn)品，同時依托51O所真空裝備行業(yè)優(yōu)勢，促進(jìn)市場開拓，占據(jù)國內(nèi)超高真空測量領(lǐng)域的市場空白，形成可觀的經(jīng)濟(jì)效益。

    熱陰極真空計是超高真空甚至極高真空唯一實際可行的真空科學(xué)儀器。目前國內(nèi)超高真空計最高水平的測量范圍為: 10-2Pa-10-7Pa(成都正華ZJ-12 B-A規(guī))；國外超高真空計測量范圍最高水平為: 10-2Pa-10-10Pa( 德國leybold IE514)。本產(chǎn)品研制的線性測量范圍達(dá)到2×10-2Pa-2×10-9Pa，可填補國內(nèi)市場的在10-7Pa-10-9Pa量級上的市場空白。此外，隨著我國高端真空裝備領(lǐng)域的快速崛起，本產(chǎn)品可進(jìn)一步的替代高端裝備領(lǐng)域中真空測量部分的國外真空計，進(jìn)一步提高市場知名度和影響力。

    超高真空計主要應(yīng)用于納米材料、量子、光學(xué)、生物分析等基礎(chǔ)科學(xué)研究以及加速器、核聚變、高能物理、表面技術(shù)等領(lǐng)域的真空測量。據(jù)統(tǒng)計，國內(nèi)需求量達(dá)到300-500臺套/年，每年產(chǎn)品銷售額達(dá)3000萬左右，超高真空計樣機(jī)實測范圍：3×10-2-1×10-9Pa，靈敏度0.18 Pa-1，相比國內(nèi)超高真空計產(chǎn)品實測10-7Pa量級的測量下限，優(yōu)于其2個數(shù)量級。本產(chǎn)品形成產(chǎn)業(yè)化后，其生產(chǎn)成本遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于國外同類型產(chǎn)品，具有較高的性價比和較強的市場競爭力。

    初步向非標(biāo)超高真空設(shè)備配套產(chǎn)品推廣，目前與相關(guān)代理商達(dá)成初步合作意向，初期產(chǎn)品可投向非標(biāo)超高真空設(shè)備開展試用推廣，主要應(yīng)用于高能加速器、SEM顯微鏡、表面分析儀器、超導(dǎo)裝置、極端條件科學(xué)研究。

    通過超高真空計的研制生產(chǎn)，打造高性價比的品牌形象，在行業(yè)內(nèi)形成知名度；其次進(jìn)行產(chǎn)品升級優(yōu)化，形成全量程真空測量儀器的生產(chǎn)加工能力，真空計年產(chǎn)量可穩(wěn)定在數(shù)千套，年產(chǎn)值將達(dá)到數(shù)千萬人民幣，同時，以“產(chǎn)品+校準(zhǔn)檢測服務(wù)”模式，帶動相關(guān)真空產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展，擴(kuò)大我所在民用市場的占有份額，促進(jìn)軍民融合發(fā)展。
本產(chǎn)品于2018年積極主動聯(lián)系目標(biāo)客戶，在中國科學(xué)院近代物理研究所、合肥等離子體研究所的相關(guān)科研項目中實現(xiàn)了試用，取得良好的效果，得到了客戶的認(rèn)可。

    

    

    

2018年8月底，本真空計產(chǎn)品在中國近代物理研究所某加速器裝置上進(jìn)行了長時間的試用，形成了以下的試用結(jié)論：
在中國近代物理研究所完成了與國外真空計的比對試用，測量結(jié)果顯示該真空計可以實現(xiàn)超高真空范圍內(nèi)壓力的精確測量，具備國外產(chǎn)品的完全替代性，后期在科學(xué)研究、型號任務(wù)及民用產(chǎn)業(yè)中具有廣泛的應(yīng)用價值和顯著的社會效益。