2017年 應用技術(shù)
成熟應用階段 本發(fā)明公開了一種真空氣相沉積反應法制備硅化石墨中延長石墨坩堝使用壽命的方法：
（1）首次使用石墨坩堝制備硅化石墨時，先將硅化反應原料分別均勻涂敷在石墨坩堝內(nèi)表面和石墨基材表面，同時在石墨坩堝與石墨基材之間填充防黏劑； ?。?）將放有石墨基材的石墨坩堝置于真空爐內(nèi)，通過真空氣相沉積反應法將石墨基材制備為硅化石墨，同時在石墨坩堝內(nèi)表面形成均勻的碳化硅層； 
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