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本項目結(jié)合半導(dǎo)體平板顯示、IC及光伏等生產(chǎn)廠商對該領(lǐng)域核心設(shè)備中核心單元國產(chǎn)化替代的迫切需求，選擇符合使用技術(shù)要求的國產(chǎn)材料，不再擔(dān)心國外材料供貨不及時或是規(guī)格型號不全，通過自主研發(fā)及與客戶合作開發(fā)的模式，掌握了半導(dǎo)體平板顯示及IC制造核心設(shè)備核心單元的關(guān)鍵技術(shù)，技術(shù)水平達到或超過了國外同類產(chǎn)品的技術(shù)水平，對國內(nèi)TFT及IC生產(chǎn)設(shè)備的制造水平以及TFT顯示器件的工藝技術(shù)水平起到了巨大的推動作用。同時，國產(chǎn)替代產(chǎn)品的成本優(yōu)勢和本地化快捷服務(wù)優(yōu)勢，對降低IC、TFT-LCD、OLED顯示器件的生產(chǎn)成本起到了促進作用。打破了國外產(chǎn)品對于國內(nèi)市場的壟斷，有效推動我國半導(dǎo)體液晶產(chǎn)業(yè)的健康快速發(fā)展。
該項目的主要創(chuàng)新點為：1、根據(jù)半導(dǎo)體器件鍍膜設(shè)備的需求，選出符合要求的國產(chǎn)材料，開發(fā)了物理氣相沉積設(shè)備關(guān)鍵部件，實現(xiàn)了部分材料及部件國產(chǎn)化替代。2、研制出了一種直流磁控濺射鍍膜設(shè)備的旋轉(zhuǎn)靶材陰極真空驅(qū)動單元，與國外同類產(chǎn)品相比，具有密封特性好，免維護壽命長的特點。3、對物理氣相沉積（PVD）鍍膜設(shè)備非鍍膜區(qū)域金屬防著板單元進行了表面改造，配套開發(fā)了蒸鍍設(shè)備防附著單元，降低了維護成本。
該項目研發(fā)了一系列具有自主知識產(chǎn)權(quán)的零部件，其中直流磁控濺射鍍膜設(shè)備的旋轉(zhuǎn)靶材陰極真空驅(qū)動單元達到了國內(nèi)領(lǐng)先水平。
本項目已授權(quán)1項發(fā)明專利、66項實用新型、12項軟件著作權(quán)、1項外觀專利；已受理4項發(fā)明、26項實用新型，據(jù)此開發(fā)了面向直流磁控濺射鍍膜設(shè)備的旋轉(zhuǎn)靶材陰極真空驅(qū)動單元、面向物理氣相沉積(PVD)鍍膜設(shè)備非鍍膜區(qū)域金屬防著板單元、面向鍍膜設(shè)備的大尺寸超薄玻璃基材承載裝置單元、面向蒸鍍設(shè)備防附著單元(evaporation & enclosure)、面向真空鍍膜設(shè)備真空門閥裝置（Lock Valve），上機運行穩(wěn)定、可靠性高，成功應(yīng)用于京東方科技集團、TCL華星光電、中國電子集團、惠科股份、信利光學(xué)、柔宇科技、維信諾等，產(chǎn)品經(jīng)過在客戶端運行，性能和國外原廠一樣甚至更高、安全穩(wěn)定，保障了各廠商生產(chǎn)線安全穩(wěn)定運行，得到了用戶的一致好評。
本項目在實現(xiàn)半導(dǎo)體核心裝備國產(chǎn)化過程中，意義重大，經(jīng)濟和社會效益顯著，應(yīng)用前景廣闊。

1.周磊  2.鄭磊  3.周婷婷  4.張航  5.孫楠楠  6.段琳琳  7.竇沛靜  8.丁媛  9.劉濤  10.魏新杰