北京自然韓樺科技有限公司，通過多年的技術(shù)研發(fā)，研發(fā)了一種全新的高密度柔性電路的制造工藝和制造裝備，該技術(shù)體系是通過自主研發(fā)的高精度的大幅面（1000mmX1000mm幅面）平行光曝光機，實現(xiàn)精密圖形（10微米線寬，10微米間距）的轉(zhuǎn)移和印制，并通過精密電沉積控制技術(shù)（在特殊的有機鹽緩解溶液中，實現(xiàn)金屬鎳離子在合金基板上的電沉積控制，通過對反應槽內(nèi)電流的精密控制，實現(xiàn)1微米厚度的微痕生長技術(shù)的控制方法），完成電路圖形的金屬凸模制作，通過自主制造的精密凸模，通過熱壓方式形成薄膜電路溝槽，并使用低溫銀漿填充形成導電電路的新工藝，新技術(shù)和新裝備。
該技術(shù)通過自主創(chuàng)新，實現(xiàn)了關鍵工藝的深度優(yōu)化，通過該工藝，可以制造出10微米線寬級別的電路，并且因為該電路不是附著在基板的表面，而是嵌入在基板的溝槽內(nèi)，因此導電電路的附著性能優(yōu)異，并且因為不使用化學蝕刻工藝，因此形成的導電電路的邊緣不存在鋸齒形態(tài)，也大幅降低了電路的寄生電容，電路的高頻性能也有較大的提升，此外新工藝，可以在高頻介電性能優(yōu)異的LCP或四氟基材上制作電路，因此可以生產(chǎn)高頻柔性電路板，對生產(chǎn)高頻無線通訊領域的天線提供了完美的解決方案。
新技術(shù)縮減了工藝流程，將原有的12個主要工藝過程，壓減為4個主工藝，在大幅提高導電線路性能和密度的同時，可以大幅降低了電路制作的成本。
該技術(shù)廣泛應用于電子工業(yè)中柔性電路的制作，通訊天線的制作，以及光伏組件的柵電極印刷絲網(wǎng)板制作等領域。
1.郭灝 2.黃春燮 3.金正植 4.李正豪 5.金鐘石 6.李伯雄 7.吳元一 8.韓冰 9.范樂媛
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評價單位： |
中國民營科技促進會 |
報告編號： |
中促會【2023】38號 |
評價日期： |
2023-04-22 |
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組織單位： |
中國民營科技促進會科技成果轉(zhuǎn)化辦公室 |
項目負責： |
李伯雄 |
成果管理： |
18611308466 |
1.提供的資料齊全，符合評價要求。
2.該項目主要創(chuàng)新點：
1)研制了10微米線寬密度柔性線路的制造工藝技術(shù)，提高了電路板密度和柔性；
2)研發(fā)了5微米圖形解析分辨率能力曝光機設備，實現(xiàn)了微米級金屬凸模的圖形轉(zhuǎn)移和相關的工藝控制；
3)研發(fā)了高可控性的電沉積電源及觸發(fā)控制系統(tǒng)和鎳基合金電沉積電解系統(tǒng)的有機無機復合鹽溶液配方，電沉積控制精度達到±2微米；
4)研發(fā)了10微米級別柔性電路板生產(chǎn)過程中所需的高精度銀漿涂布系統(tǒng)。
3.該項目研發(fā)的試件經(jīng)上海復達檢測集團檢測，試件線寬滿足設計密度要求。
4.該項目試件經(jīng)勝利油田勝利自動化開發(fā)有限責任公司、浙江立泰復合材料股份有限公司等多家單位試用，效果良好。
該項目研制的工藝技術(shù)具有自主知識產(chǎn)權(quán)，達到國際先進水平，應用前景廣闊。
評價委員會一致同意通過科技成果評價。
建議加大應用推廣力度，滿足市場需求。
| 姓名 |
工作單位 |
職稱 |
從事專業(yè) |
| 程渝榮 |
清華大學 |
正高 | 計算機 |
| 劉四平 |
中國半導體行業(yè)協(xié)會 |
正高 | 半導體 |
| 周迎 |
科技部火炬中心 |
正高 | 科技管理 |
| 童有好 |
工信部中小企業(yè)發(fā)展促進中心 |
正高 | 科技管理 |
| 王 毅 |
中國電子技術(shù)化研究院 |
正高 | 電子材料 |
| 張 雷 |
陸軍裝甲兵學院兵器與控制系 |
正高 | 自動控制 |
| 丁天懷 |
清華大學 |
正高 | 精密儀器 |
| 周婷婷 |
紫光軟件集團 |
正高 | 系統(tǒng)集成 |
| 李 寶 |
中國電子集團 |
正高 | 電子工程 |
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