在人造金剛石、集成電路清洗、刻蝕等微波等離子體應(yīng)用領(lǐng)域，需要穩(wěn)定度較高的微波生器，以產(chǎn)生穩(wěn)定的微波信號，滿足各領(lǐng)域應(yīng)用需求。微波生器加熱機(jī)理是基于微波與被加熱物質(zhì)分子之間的相互作用，并被吸收轉(zhuǎn)換成熱量。與紅外加熱、電爐加熱、高頻加熱等加熱方式相比，微波加熱可以深入被加熱物質(zhì)內(nèi)部，加熱時(shí)熱量直接來源于微波。
目前，由于微波等離子體化學(xué)氣相沉積制備人造金剛石等領(lǐng)域微波發(fā)生器技術(shù)要求高，需求量大，國產(chǎn)化比例低，導(dǎo)致高度依賴進(jìn)口，關(guān)鍵設(shè)備受制于人。而國外產(chǎn)品在價(jià)格高、交付周期長的同時(shí)，普遍采用風(fēng)冷與水冷結(jié)合方式，單臺(tái)設(shè)備需向工作環(huán)境排放大量熱量，直接影響了生產(chǎn)裝備布置，增加了降溫成本，亟待解決。
針對上述問題，項(xiàng)目開展了水冷高穩(wěn)定度微波發(fā)生器研制。項(xiàng)目創(chuàng)新研發(fā)了高質(zhì)量直流燈絲電源及壓頻轉(zhuǎn)換技術(shù)，改善了頻譜質(zhì)量，降低了頻譜寬度。通過高頻變壓器隔離陽極高壓，以及電壓與頻率信號轉(zhuǎn)換，提高了燈絲電源電流的輸出穩(wěn)定性；開發(fā)了微波發(fā)生器控制技術(shù)，優(yōu)化了磁控管最佳工作曲線及兼容適配系統(tǒng)，保證了微波發(fā)生器輸出功率和系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性，提高了磁控管使用壽命和電源適配性；設(shè)計(jì)了水冷微波發(fā)生器熱交換結(jié)構(gòu)。采用油箱將變壓器與高壓整流部分封閉，油箱內(nèi)部安裝水冷換熱器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，明顯降低了工作環(huán)境熱量排放。
項(xiàng)目技術(shù)具有自主知識產(chǎn)權(quán)，已獲國家授權(quán)發(fā)明專利及軟件著作權(quán)。項(xiàng)目產(chǎn)品已通過安徽省電子產(chǎn)品監(jiān)督檢驗(yàn)所檢測，并被寧波晶鉆科技股份有限公司、成都穩(wěn)正科技有限公司、四川大學(xué)電子信息學(xué)院等單位采用，實(shí)現(xiàn)了微波等離子體化學(xué)氣相沉積制備人造金剛石等領(lǐng)域微波發(fā)生器的國產(chǎn)化替代，應(yīng)用前景廣闊。
項(xiàng)目咨詢：王艷欣13371759156
1.安徽明辨電子科技有限公司
1.劉 凱 2.鄧永峰 3.張 辰 4.印長豹 5.曾 亮 6.謝振磊 7.唐 鵬 8.王帥帥 9.何 柱 10.芮 慶 11.劉 英 12.楊玉連 13.戴義亮 14.劉子歡 15.張秋爽
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評價(jià)單位： |
中國民營科技促進(jìn)會(huì) |
報(bào)告編號： |
202301003041 |
評價(jià)日期： |
2023-05-20 |
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組織單位： |
中國民營科技促進(jìn)會(huì)科技成果轉(zhuǎn)化辦公室 |
項(xiàng)目負(fù)責(zé)： |
雷智旺、王艷欣 |
成果管理： |
13681439210 |
1.提供的資料齊全，符合評價(jià)要求。
2.項(xiàng)目主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)如下：
（1）研發(fā)了高質(zhì)量直流燈絲電源及壓頻轉(zhuǎn)換技術(shù)，改善了頻譜質(zhì)量，降低了頻譜寬度。通過高頻變壓器隔離陽極高壓，以及電壓與頻率信號轉(zhuǎn)換，提高了燈絲電源電流的輸出穩(wěn)定性。
（2）開發(fā)了微波發(fā)生器控制技術(shù)，優(yōu)化了磁控管最佳工作曲線及兼容適配系統(tǒng)，保證了微波發(fā)生器輸出功率和系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性，提高了磁控管使用壽命和電源適配性。
（3）設(shè)計(jì)了水冷微波發(fā)生器熱交換結(jié)構(gòu)。采用油箱將變壓器與高壓整流部分封閉，油箱內(nèi)部安裝水冷換熱器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，明顯降低了工作環(huán)境熱量排放。
3.項(xiàng)目產(chǎn)品已被寧波晶鉆科技股份有限公司、成都穩(wěn)正科技有限公司、四川大學(xué)電子信息學(xué)院等單位采用，實(shí)現(xiàn)了微波等離子體化學(xué)氣相沉積制備人造金剛石等領(lǐng)域微波發(fā)生器的國產(chǎn)化替代。
4.項(xiàng)目產(chǎn)品已通過安徽省電子產(chǎn)品監(jiān)督檢驗(yàn)所檢測。
5.項(xiàng)目技術(shù)具有自主知識產(chǎn)權(quán)，已獲國家授權(quán)發(fā)明專利及軟件著作權(quán)。
評價(jià)委員會(huì)認(rèn)為：項(xiàng)目在水冷微波發(fā)生器結(jié)構(gòu)及直流燈絲電源設(shè)計(jì)方面達(dá)到國際先進(jìn)水平，同意通過科技成果評價(jià)。
| 姓名 |
工作單位 |
職稱 |
從事專業(yè) |
| 丁天懷 |
清華大學(xué) |
正高 | 測控 |
| 蔡青有 |
中國電力科學(xué)研究院 |
正高 | 電力產(chǎn)品檢測 |
| 古宏偉 |
中國科學(xué)院電工研究所 |
正高 | 電工材料 |
| 繆 謙 |
國家電網(wǎng) |
正高 | 電力節(jié)能 |
| 孫家躍 |
中國儀器儀表學(xué)會(huì) |
正高 | 自動(dòng)控制 |
| 聶軍剛 |
機(jī)械科學(xué)研究總院 |
正高 | 重大裝備 |
| 周 迎 |
科技部火炬中心 |
正高 | 科技管理 |
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