本項(xiàng)目目的在于對現(xiàn)有技術(shù)中的氣柜進(jìn)行改進(jìn)，相比現(xiàn)有技術(shù)提供半導(dǎo)體領(lǐng)域多氣體輸送集成控制柜，通過盤面來對多種氣體的管道及其相關(guān)配件進(jìn)行合理的布局，讓整個氣柜內(nèi)部空間合理且緊湊，有效降低空間占比，便于安裝擺放，通過在盤面的下方增設(shè)抽氣箱，利用氣體傳感器來監(jiān)測多種氣體，當(dāng)氣體發(fā)生泄漏后氣體傳感器觸發(fā)微型電磁鐵向上磁排斥重力式密封頭，同時氣體傳感器啟動微型抽氣泵將泄漏的氣體吸收到壓縮式儲氣囊中進(jìn)行儲存，避免氣體在柜體內(nèi)大量積聚，有效避免爆燃事故的發(fā)生，而且當(dāng)壓縮式儲氣囊吸收滿泄漏的氣體后會通過觸發(fā)壓力傳感器來發(fā)出警報(bào)，從而讓工作人員及時清空壓縮式儲氣囊內(nèi)的氣體。
實(shí)現(xiàn)對氣柜內(nèi)部空間的緊湊利用，并且能及時吸收泄漏出來的氣體，有效提高氣柜使用時的安全性。
1.朱學(xué)明 2.單歡歡 3.陳偉才 4.王紅衛(wèi) 5.殷志亮 6.鄭孫校
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評價(jià)單位： |
中國管理科學(xué)學(xué)會 |
報(bào)告編號： |
CMSS2025Y038 |
評價(jià)日期： |
2025-04-23 |
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組織單位： |
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項(xiàng)目負(fù)責(zé)： |
王鑫 |
成果管理： |
13605601775 |
2025年04月23日，中國管理科學(xué)學(xué)會通過視頻會議形式組織專家召開了由安徽壹月科技有限公司完成的“半導(dǎo)體領(lǐng)域多氣體輸送集成控制柜”科技成果評價(jià)會。評價(jià)委員會聽取了項(xiàng)目完成單位的技術(shù)總結(jié)報(bào)告，對項(xiàng)目資料進(jìn)行了審查和質(zhì)詢答辯，經(jīng)認(rèn)真討論形成意見如下：
1、提供的資料基本齊全，符合評價(jià)要求。
2、主要創(chuàng)新點(diǎn)：
(1)研制了微泄氣體檢測傳感器 - 抽氣泵 - 儲氣囊 - 泄漏氣體處理聯(lián)動裝置和專用密封結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了氣柜微泄漏的監(jiān)測和自動處理，提高了安全性。
(2)開發(fā)了專用監(jiān)控系統(tǒng)，通過PLC顯示屏、負(fù)壓表和急停按鈕，實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控與緊急干預(yù)。
(3)通過集成化設(shè)計(jì)、模塊化盤面布局，顯著減小了控制柜體積，節(jié)省了設(shè)備占用空間，降低了成本。
3、項(xiàng)目獲得多項(xiàng)國家發(fā)明專利，具有自主知識產(chǎn)權(quán)。產(chǎn)品經(jīng)安徽省產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢測研究院檢測，符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。
4、產(chǎn)品經(jīng)京東方華燦光電有限公司、一塔半導(dǎo)體（安徽）有限公司等多家用戶使用，反映良好。
評價(jià)委員會認(rèn)為，該成果創(chuàng)新性強(qiáng)、示范性好，關(guān)鍵技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平。
建議：進(jìn)一步擴(kuò)大該技術(shù)成果的應(yīng)用領(lǐng)域，滿足市場需求。
| 姓名 |
工作單位 |
職稱 |
| 張文明 |
北京科技大學(xué) |
正高 |
| 朱曉民 |
北京機(jī)械工業(yè)自動化研究所 |
正高 |
| 杜海燕 |
北京工商大學(xué) |
正高 |
| 朱青松 |
北京科技職業(yè)大學(xué) |
正高 |
| 樊中朝 |
中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 |
正高 |
| 聶軍剛 |
中國機(jī)械科學(xué)研究總院集團(tuán) |
正高 |
| 孫家躍 |
中國儀器儀表學(xué)會分析儀器學(xué)會 |
正高 |
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